据Tom's Hardware、EE Times报道，近日，MEMS（微机电系统）制造商Rogue Valley Microdevices最近与美国商务部签署一份不具约束力的协议，将获得《芯片与科学法案》670万美元的补贴，以扩充其位于佛罗里达州棕榈湾的MEMS与传感器代工厂，使产能增加近2倍。另外，该公司还有一座位于俄勒冈州Medford的原有厂房，虽然已达设计产能，但预期扩建后可进行急需的升级。

该公司期望成为全球第一座制造300 mm晶圆的 MEMS 代工厂，获得美国《芯片与科学法案》的补贴有助于降低成本，实现与 CMOS 设备的晶圆级整合。

Jessica Gomez 是Rogue Valley Microdevices公司的首席执行官，在 21 年前，她与丈夫利用卖房所得的 18 万美元创立这家公司。借助这笔资金，使他们能够获得额外的银行融资和当地经济开发区的贷款，他们还弄了大约 50,000 美元的信用卡债务来让公司起步。

Rogue Valley Microdevices 一开始只有一个用于薄膜沉积的小型无尘室、一个湿制程设备（wet bench）、一个熔炉和一些计量工具。Jessica Gomez 和丈夫在最初几年独自经营该工厂，并将所有收入再投资到该公司，当时 MEMS 制造投资在美国非常罕见，大部分生产设施都建在海外。

到了2008年，这家MEMS制造商也面临金融海啸的冲击，当时不得不裁减大部分员工。在重整业务后，公司在六个月内恢复盈利。与其他半导体产业厂商相比，这家公司规模相对较小较小（另一家美国MEMS厂商 Atomica规模也相对较小），发展到目前仅拥有约30名员，年收入约1,000万美元。但该公司的MEMS产品对军事和生物医学供应链具有重大影响。

有预测数据显示，MEMS 市场在 2023 年价值 146 亿美元，预计到 2029 年将增长到 200 亿美元，这受到自动驾驶等新兴应用以及通信和军事等成熟市场需求的推动。目前，Rogue Valley 是该市场的领导者，因为它不断采用先进的生产技术并扩大其产能。

编辑：芯智讯-浪客剑

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